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    溶剂柜

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    溶剂柜是一套集储存、输送、过滤、取样、分配及安全监控于一体的高纯化学品供应系统,广泛应用于半导体、光伏、显示面板及精细化工等领域。
    系统支持正压与负压两种模式,兼顾高纯防污染与安全防泄漏需求,并通过多级过滤、智能监测及多重安全防护设计,实现高纯溶剂的安全、稳定、连续供应。

    设备参数

    基础参数 Basic parameter
    名称 技术参数
    常用容积规格 25L/200L/500L/1000L(可按需定制工位数、管路数)
    电源 380V,50Hz
    排风方式 集中排风/单独排风(微负压型)
    进气类型 FFU 高效过滤器,规格与精度灵活选择(微正压型)
    设备主体材质 碳钢外包PP、304不锈钢材质
    更多安全防护(选配) 气体 / 温度/火焰监测、声光报警模块

    二氧化碳灭火系统

    防爆电气配置

    安全手套箱操作

     

    设备亮点

    • 产品功能

      • 安全储存 — 高纯溶剂密闭储存
      • 稳定供液 — 精密输送、过滤与分配
      • 高纯净化 — 多级过滤,降低污染风险
      • 智能监控 — 实时监测,支持安全联锁
      特点
    • 产品优势

      • 正负压可选 — 适配不同工艺需求
      • 高纯洁净 — 多级过滤,保障供液品质
      • 多重防护 — 防泄漏、防污染,提升运行安全
      • 模块化设计 — 灵活配置,维护便捷
      • 智能高效 — 精准控制,稳定连续供液
      优势